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반도체재료 열물성

Polysilicon specific heat capacity[09-02-00013]

Polysilicon specific heat capacity[09-02-00013]

참조표준명 Polysilicon specific heat capacity[09-02-00013]
참조표준 번호 KSRD.03.2009.003.001.012
DOI 10.20925/KSRD.03.2009.003.001.012
참조표준 등급 유효 참조표준
재료규격 시료형상 : disk
구조 : Polycrystal
밀도 : 2.33g/cm3
성분분석 : 만족
불순물 : 0.99999
측정방법 측정온도영역 : 298~1000K
실험방법 : DSC(Differential Scanning
재현성 시료가공방법 : 제조사 (Alfa aesar) 제공
시료제조법 : 제조사 (Alfa aesar) 제공
실험절차 : DSC 측정절차에 따름(well described)
시험조건 : gas flow (50 ml/min)
측정불확도 <5%(B형평가에 의함)

Polysilicon specific heat capacity[09-02-00013] 참조표준

T/K Cp-polysi(평균)
298.15 0.412
348.15 0.461
398.15 0.499
448.15 0.529
498.15 0.553
548.15 0.571
598.15 0.586
T/K Cp-polysi(평균)
648.15 0.599
698.15 0.609
748.15 0.619
798.15 0.627
848.15 0.634
898.15 0.640
948.15 0.645
998.15 0.651
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