데이터센터

contact이미지
TEL. 042-868-5353
FAX. 042-868-5066
Mail. choijongoh@kriss.re.kr

플라즈마데이터센터

플라즈마 물성데이터의 정의 및 종류

  • srd

개발 필요성

  • 지식기반 고부가가치의 반도체 장비산업
    • 반도체 장비산업은 설계 및 개발비 비중이 원가의 대부분을 차지하는 지식기반 고부가 가치의 산업
    • 구성품의 원가비중이 30%~40%에 불과하여, 반도체 소자 업체의 주문에 의해 소량, 다품종으로 생산되는 중소기업형 산업
  • 반도체 장비 설계 및 제작에 필수적인 플라즈마 물성 데이터
    • 반도체 장비 개발에 사용되는 대표적인 플라즈마 물성 데이터는 플라즈마를 이루고 있는 조성 가스들의 충돌에 의한 데이터
    • 플라즈마 물성정보는 완제품의 가격경쟁력을 높이는 데 결정적인 역할을 하고, 플라즈마를 활용하는 반도체 장비의 기초기반정보로써 고부가가치의 신규기술 창출에 핵심정보임
    • 플라즈마 물성정보의 국가 자원화를 통한 원천 반도체 장비 설계기술 확보는 산업경쟁력은 물론 국가 경쟁력을 높이는 중요한 핵심 요소로 꼽히고 있음.
  • srd

주요 개발 내용 및 목표

  • srd
  • 국내외 플라즈마 물성 연구기관간의 연구네트워크 구성을 통한 플라즈마 물성 참조데이터의 생산 및 수집
  • 참조데이터 평가기준 마련 및 국내 외 기술위원회 운영을 통한 정기적인 참조데이터 평가 수행
  • 기업 지원 및 연계활동을 통한 참조표준데이터 보급 및 활용 지원

추진 체계

  • srd

활용분야

  • 산업계
    • PDP, TFT-LCD TV 그리고 반도체 제조 등 첨단 장비 및 장비 제작 및 설계
    • 신소재 합성, 고분자 표면처리, 금속 표면처리 및 환경 정화 등
  • 연구소 및 학계
    • 플라즈마 자체의 성질을 탐구하기 위한 진단 데이터 해석에 활용
    • 핵융합 플라즈마의 물성 연구 및 진단
    • 새로운 산업용 소재 개발을 위한 기초데이터
    • 플라즈마는 우주의 99%를 이루고 있으므로 천체물리학 또는 첨단 항공우주산업 (인공위성용 플라즈마 추진체, 우주 항해용 추진체 등)에 활용

기대효과(정량적)

  • 플라즈마 물성 참조표준 데이터의 제공을 통한 시뮬레이션 기반의 장비 제조시스템 활용시 장비의 국산화율을 2% 높이면 1천 300억 이상의 외화 절감 효과
    • 2004년 반도체 장비수요는 5조 3000억 규모로 급증
    • 국내 장비 생산은 1조 3000억원 (국산화율 20%)
  • 해외의 물성정보 이용에 따른 비용 절감
    • 지금까지 고가의 해외 플라즈마 물성정보에 의지하던 국내 반도체 관련 대기업 및 관련 산업체에서의 해외정보 이용비용 절감 (300만$의 외국 정보이용료 절감 효과)

기대효과(정성적)

  • 플라즈마 물성관련 산업기반 정보 확보
    • 국내에서 플라즈마 물성 참조표준데이터를 확보함으로써 해외의 정보 독점과 고가의 정보 이용료 때문에 플라즈마 물성 정보를 이용할 수 없었던 국내 반도체 관련 중소기업체와 플라즈마가 응용되는 신기술 개발에 주력하는 기업체에 고부가 가치의 플라즈마 물성 참조표준데이터 제공
  • 해외의 물성정보 이용에 따른 비용 절감
    • 지금까지 고가의 해외 플라즈마 물성정보에 의지하던 국내 반도체 관련 대기업 및 관련 산업체에서의 해외정보 이용비용 절감
  • 반도체 산업을 중심으로 한 플라즈마 응용산업의 국제 경쟁력 강화
    • 플라즈마는 반도체 산업과 미래 신기술에의 응용범위가 넓기 때문에 플라즈마를 응용하는 국내 기업체의