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참조표준활용사례

제목 플라즈마 물성 참조표준 개발 및 활용
작성자 관리자 작성일 2014-10-27 18:04:26 조회 6694

참조표준 제정 배경

■ 반도체 제조 장비의 국산화 시급
- 반도체 제조 장비의 70% 이상 수입(제조공정에 플라즈마 사용(80%))
- 반도체 설비투자 (전체 매출액의 약 14~20%, 13~14조원/년)


■ 플라즈마물성데이터 제정 배경
- 플라즈마데이터 이용으로 반도체 및 LCD 제조 공정조건 확립의 필수
- 신뢰성 있는 데이터 활용으로 생산 비용절감, 가격 경쟁력을 향상

 


참조표준 개발내용
- 플라즈마 소스용 기초 가스 : 73 건
- 플라즈마 소스용 발생용 가스 : 26 건
- 플라즈마 에칭 공정용 가스 : 103 건
- 반도체 막 형성용 가스 : 95 건
- 플라즈마 공정용 혼합가스 : 121 건

 

 

 

 

 

참조표준 보급 실적

■ 기술 이전
- 2007년 플라즈마 Chemistry 분석 시스템 (A사, B사) : 3천만원
- 2011년 공정용 혼합 가스의 Chemistry 개발 (K테크) : 1천만원
- 2013년 공정용 혼합 가스의 Chemistry 개발 (K테크)  :  예정


■ 산학연 협력사업
- 450mm 장비 플라즈마 공정 해석용 고신뢰성 시뮬레이터 개발
- 10nm급 초미세 SADP 공정용 건식식각 장비 개발


■ 국제공동연구 : 데이터 평가 주도
- IAEA와 데이터 평가용 표준 라이브러리 개발 주관

 

 

참조표준의 기대효과

■ 반도체 생산 분야
- 반도체 제조용 플라즈마 장비 개발과 공정설계 능력 보유
- 고가의 외국장비 수입대체로 기업의 제품 경쟁력을 향상


■ 반도체 장비 제조 분야
- 플라즈마 참조표준 제공으로 장치 제작 개발비의 약 10%이상 절감
- 장비 국산화율을 2%이상 제고(1천300억원 이상의 외화 절감)

 


플라즈마 물성 데이터 센터의 향후 계획
- 반도체 에칭 공정 혼합 가스 : 100건
- 플라즈마 물질 표면 반응 데이터 : 100건
- 플라즈마 생체 물질 반응 데이터: 100건
- 소요 예산 : 연  3억 / 3년