플라즈마물성
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소개
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참조표준 DB 제정의 필요성
반도체 장비 설계 및 제작에 필수적인 플라즈마 물성데이터는 플라즈마를 이루고 있는 조성가스들의 산란 단면적이며 전체 데이터 중 70% 정도가 전자, 원자, 이온 등과의 충돌 산란 단면적 데이터이다. 이러한 수치데이터는 모사프로그램에 의하여 반도체 장비 설계시 필요한 방전 전압, 전류 등의 핵심 파라미터를 결정하는 역할을 한다.
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기대효과
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활용도
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