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플라즈마물성

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참조표준 DB 제정의 필요성

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반도체 장비 설계 및 제작에 필수적인 플라즈마 물성데이터는 플라즈마를 이루고 있는 조성가스들의 산란 단면적이며 전체 데이터 중 70% 정도가 전자, 원자, 이온 등과의 충돌 산란 단면적 데이터이다. 이러한 수치데이터는 모사프로그램에 의하여 반도체 장비 설계시 필요한 방전 전압, 전류 등의 핵심 파라미터를 결정하는 역할을 한다.

기대효과

  • 반도체 장비 설계 및 제작을 위해 본 참조표준을 활용할 경우 국산화율을 2% 향 상으로 1천 300억원 이상의 절감효과
  • 국내 반도체 관련 대기업 및 관련 산업체에서 해외정보 이용 비용 절감

활용도

  • 플라즈마 소스용으로 가장 많이 사용되는 H2 가스는 수소경제 및 수소에너지 등 미래 청정 에너지원으로도 각광을 받고 있는 가스로 플라즈마 응용산업뿐만 아니라 수소자동차, 연료전지 등 다양한 분야에서 이용된다.