화학증착소재물성
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소개
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참조표준 DB 제정의 필요성
박막 증착에 사용되는 화학증착소재는 반도체, 디스플레이, 배터리 등 첨단 고부가가치 산업에서 사용되기 때문에 이들 소재의 물성에 대한 신뢰도 높은 데이터는 매우 중요한 부분이다.
하지만 증착소재의 공기와의 반응성 때문에 대기압에서의 측정이 불가하여 진공환경에서의 증기압 측정이 불가피하지만 이에 대한 측정 방법 및 신뢰도 높은 데이터가 부재한 상황이다. 본 참조표준데이터센터에서는 국내 관련 산업에 필요한 화학증착소재 물성 자료를 수집?생산하고 신뢰성 있는 데이터베이스를 구축하여 국가 참조표준으로 보급함을 목적으로 한다. |
기대효과
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활용도
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