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식각공정물성 CF2 radical data

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참조표준 DB 제정의 필요성

식각공정물성 데이터의 참조표준화를 목적으로 한다.

기대효과

  • 플라즈마 물성 참조표준은 반도체 장비 개발에 사용되는 대표적인 소개 데이터로 반도체 및 LCD/PDP 제조 공정의 약 80%에 직간접적으로 사용
  • 플라즈마 물성 참조표준은 완제품의 가격경쟁력을 높이는데 결정적인 역할을 하고, 플라즈마를 활용하는 반도체 및 LCD/PDP 제조 장비의 기초기반정보로써 고부가 가치의 신규기술 창출의 핵심정보임

활용도

  • PDP, TFT-LCD TV 그리고 반도체 제조 등 첨단 장치 및 장비 제작 및 설계, 신소재 합성, 고분자 표면처리, 금속 표면처리, 환경 정화 등에 활용